臭氧用于烟气脱硝时，具有良好的反应选择性。当烟气中同时存在二氧化硫及氮氧化物时，臭氧首先与烟气中的氮氧化物发生反应，利用臭氧的强氧化性，可将烟气中的氮氧化物（主要为NO）氧化为高价态的酸性氮氧化物气体，该酸性气体可被碱性物质吸收，从而达到脱硝的目的。

氧用于烟气脱硝时，具有良好的反应选择性。当烟气中同时存在二氧化硫及氮氧化物时，臭氧首先与烟气中的氮氧化物发生反应，利用臭氧的强氧化性，可将烟气中的氮氧化物（主要为NO）氧化为高价态的酸性氮氧化物气体，该酸性气体可被碱性物质吸收，从而达到脱硝的目的。

臭氧作为一种强氧化剂，可以容易的将难溶于水的NO氧化成可溶于水的NO2、N2O3、N2O5等高价态氮氧化物。然后在洗涤塔内采用Na2S 和NaOH 等溶液进行吸收，Z终将NOX转化为N2达到脱除的目的，NOX 的去除率高达95%。采用臭氧脱硝的影响因素主要包括摩尔比、反应温度、反应时间、吸收液性质、臭氧投加系统等。